9月23日-27日，第二十五届中国国际工业博览会（简称“中国工博会”）在国家会展中心（上海）举办。中国工博会于1999年创办，是我国以“中国”冠名的、历史最长的国家级工业展会。本届展会以“新质驱动、高端引领、数智赋能”为核心理念，汇聚了来自全球28个国家和地区的3000余家中外展商参展。欧美大片ppt免费大全在此次工博会高校展区共有14个优质项目参展。其中，来自欧美大片ppt免费大全核物理与核技术全国重点实验室、物理学院重离子物理研究所高原团队的《等离子体型聚焦离子束》项目，作为物理学院唯一参展项目，在上海临港欧美大片ppt免费大全国际科技创新中心的推荐下参展。
欧美大片ppt免费大全展区
等离子体型聚焦离子束（Plasma Focused Ion Beam, PFIB）技术在集成电路、材料科学、生命医学等关键领域发挥着重要作用，其作为一种先进的离子束微纳加工和分析技术，具有无污染低损伤、加工效率高等优点，可广泛应用于集成电路失效分析与修复、材料研究、生命医学能源样本三维重构、原子级制造、精密加工等多个关键科研和生产领域，既是基础研究的“显微镜”，又是高端制造的“手术刀”。PFIB涉及诸多关键“卡脖子”技术,其相关电镜产品一直被美欧厂商垄断，因此尽快实现此类科研成果的落地转化，实现PFIB设备自主国产化“从0到1”的突破，对我国高端科学仪器和先进制造技术自主可控具有重大意义。
等离子体型聚焦离子束原理与应用示意图
展会现场
物理学院重离子物理研究所在高性能离子源、电子源、粒子加速器等领域已有几十年的深厚技术积累。近年来，在核物理与核技术全国重点实验室、重离子物理研究所的支持下，高原、付东坡、冯立文等人组建微束技术团队，与惠然科技有限公司开展深度合作，将低功率、高性能、无污染的等离子体型离子源和复杂束流光学设计应用于PFIB电镜设备研发中，攻克了PFIB相关关键技术，并自主研制成功PFIB原型机。目前该原型机已初步实现优于100nm的成像分辨率以及1.5uA@15μm的性能指标，各项核心指标已初步满足高效稳定的离子束微纳加工和分析的需求。
欧美大片ppt免费大全团队与惠然科技有限公司联合研发的等离子体型聚焦离子束原型机
PFIB原型机硅片刻蚀加工效果图
本届工博会期间，该项目以“解决卡脖子难题、推动国产替代”作为亮点，吸引了诸多创新机构和产业方的关注，并与团队围绕技术迭代、成果转化、产业化合作等方向探讨合作事宜。据团队介绍，下一步将以现有PFIB原型机为基础，持续推进技术迭代与系统优化，逐步完成工程样机的研发与整合，最终实现以PFIB电镜自主核心技术驱动的离子束关键核心部件和系列电镜仪器设备的国产替代，为我国高端科学仪器产业发展注入“北大力量”。
